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一、 技術參數：
3.1 整機：一體式集成，包含空氣壓縮系統、凈化系統、存儲系統和氮氣制備系統
3.1.1 氮氣流速30L/min
3.1.2 純度99%
3.1.3 氮氣壓力為80psi，且壓力可調，可滿足前端設備的供氣壓力要求
3.1.4 PAEs(鄰苯二甲酸酯)：無
3.1.5 壓力露點：＜－45℃
3.1.6 使用環境溫度：5~35℃
3.1.7 使用環境濕度：0~80%，無冷凝
3.1.8 電壓220V,功率1.6KW
3.1.9 外形尺寸（長×寬×高 mm）：360×600×650
3.2 空氣壓縮系統：內置無油空氣壓縮機，雙空壓機技術，
3.3 凈化系統：
3.3.1采用4級超精密過濾系統
3.3.2過濾精度：顆粒<[email protected]/m3
3.3.3 高通量設計，空氣處理量不小于400L/min
3.3.4 過濾系統帶智能堵塞報警功能，避免因失效造成的損失
3.3.5 采用大功率冷凝除水系統，確保獲得干燥的空氣流
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